Лаборатория 101. Лаборатория технологии двумерной микроэлектроники
Заведующий лабораторией - доктор физико-математических наук, профессор А.В. Зотов.
Состав лаборатории
Количество сотрудников - 19,
научных сотрудников - 12,
докторов наук - 3,
кандидатов наук - 5.
Основные направления научных исследований
Изучение процессов формирования упорядоченных наноструктур и структур пониженной размерности на поверхности полупроводниковых кристаллов.
Определение электрофизических характеристик и других физических свойств выращиваемых наноструктур.
Теоретическое моделирование структуры и свойств наноструктур.
Основные результаты
Используя процессы самоорганизации, сформированы упорядоченные массивы нанокластеров идентичного размера (магических кластеров).
Сформированы упорядоченные наноструктуры, элементами которых служат нанотрубки кремния, легированные бериллием.
Определено влияние структурных параметров на проводимость поверхностных фаз, образуемых атомами металлов на поверхности кремния.
Основные публикации
Oura K., Lifshits V. G., Saranin A. A., Zotov A. V., Katayama M. Surface Science. An Introduction. Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, New York (2003) 440 p.
Oura K., Lifshits V. G., Saranin A. A., Zotov A. V., Katayama M. Hydrogen interaction with clean and modified silicon surfaces. Surface Science Reports. 35(1-2), 1-74 (1999).
Saranin A. A., Zotov A. V., Kotlyar V. G., Kasyanova T. V., Utas O. A., Okado H., Katayama M., Oura K. Ordered arrays of Be-encapsulated Si nanotubes on Si(111) surface. Nano Lett. 4(8), 1469-1473 (2004).